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電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
發(fā)布時(shí)間：2019-06-06瀏覽次數(shù)：1457返回列表
電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀 型號(hào)：BGS-6341
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場(chǎng)面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。
儀器基于干涉計(jì)量的全場(chǎng)測(cè)試原理, 可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布, 迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。
| 錯(cuò)位相移技術(shù) |
| 計(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理 |
| 測(cè)試過(guò)程全自動(dòng) |
| 的曲面補(bǔ)償測(cè)試原理 |
| zui大樣品尺寸 | ≤100mm (4英寸) |
| 曲率范圍 | |R|≥5米 |
| 測(cè)試精度 | 5% |
| 單片測(cè)量時(shí)間 | 3分鐘/片 |
| 結(jié)果類型 | 面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格 |
| 圖形顯示功能 | 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 |
| 電源 | AC 220V±10%, 50Hz±5% |
| zui大功耗 | 100W |
| 外型尺寸(L×W×H) | 285mm×680mm×450mm |
| 重量 | 36kg |
