熱偶真空計利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
工作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點是此真空計的原理。

如果保持細線的發熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。
特征
利用氣體分子的熱傳導現象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價格低廉。

另外此真空計在大氣壓狀態下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出，因此在自動控制方面容易控制。