波長色散X射線熒光光譜儀是利用原級X射線或其他光子源激發待測物質中的原子，使之產生熒光（次級X射線）。從而進行物質成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。它的優點是不破壞樣品，分析速度快，適用于測定原子序數4以上的所有化學元素，分析精度高，樣品制備簡單。根據分光方式不同，可分為波長色散和能量色散X射線熒光光譜儀兩大類；根據激發方式又可細分為偏振光、同位素源、同步輻射和粒子激發X射線熒光光譜儀；根據X射線的出射、入角還可有全反射、掠出入射X射線熒光光譜儀等。適合在大、中、小型水泥廠（單、雙窯）做質量過程控制使用。可用于分析原料（如石灰石、沙土、礬土、菱鎂礦和其他礦物）中主量和次量氧化物的定性和定量分析;水泥生料、熟料樣品中的 CaO, SiO2, Al2O3, Fe2O3, MgO, SO3, K2O, Na2O, Cl、TO2等常規元素的測定。
    波長色散X射線熒光光譜儀所用X射線管有側窗型、端窗型和透射型三種。為提高超輕元素和常見元素的檢測限和減小測定時間，近年來在端窗型X射線管的性能上有很多改進。功率提高到4kW或更高；改進了X射線管管型設計，縮短了陽和樣品之間的光路。鈹窗厚度一般為75微米，有的30微米，對測量超輕元素十分有利。基本參數法軟件比較，表明：
    （1）入射角和出射角分別在55度~90度和35度~45度之間變化，對輕、重元素X射線熒光強度的影響在10%以內；
    （2）X射線管鈹窗厚度對X射線熒光強度的影響主要是對原子序數（Z）小于16的元素，而對Z大于30的元素影響甚小；
    （3）銠是的靶材之一，其原子序數相對較大，所產生的連續譜和K系、L系特征譜特別適用于輕、重元素測定。
    輻照在樣品上的原級譜強度I與X射線管靶材到樣品的距離R的平方成反比，即：I=K