非接觸式三維光學輪廓儀測量原理：相干相關算法（Coherence Correlation Interferometry）垂直方向測量范圍（Z）：2.2mm，拼接后

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  主要代理品牌：臺灣泰仕、臺灣固緯、臺灣衡欣、臺灣群特、臺灣路昌、德國德圖、德國賽多利斯、德國EPK、美國奧豪斯、美國泰克、美國雷泰、美國蒙納多、美國福祿克、美國艾力、英國凱恩、意大利哈納、香港希碼、北京時代等，技術先進，性價比居國內儀器儀表市場前列。
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非接觸式三維光學輪廓儀

測量原理：相干相關算法（Coherence Correlation Interferometry）
垂直方向測量范圍（Z）：2.2mm，拼接后可達10mm
垂直向分辨率：0.01nm（0.1 Å）
垂直方向噪音：＜0.08nm
垂直方向測量重復性：＜0.02nm
zui大測量區域（X，Y）：6.6mm × 6.6mm，拼接后可達75mm ×75mm
光學分辨率（X，Y）：0.4~0.6µm（與被測面有關）
工作臺尺寸：X，Y=150mm × 150mm，Z=100nm
臺階高度重復性：＜ 0.1%
測量物鏡：2.5× 5× 10× 20× 50× 100×
標準平面：平面度＜ 0.2nm （RMS）
數據分析軟件：Talymap （Golden版），可以分析所有的二維和三維形貌和輪廓參數

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