因此,常用的測量電路主要有橋式電路、調頻電路、脈沖寬度 制電路、運算放大器電路、二管雙 T 形交流電橋和環行二管充放電法等。 調頻電路實際是把電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分,當輸入量導致電容量發生變化時,振蕩器的振蕩頻率就發生變化。雖然可將頻率作為測量系統的輸出量,用以判斷被測非電量的大小,但此時系統是非線性的,不易校正,因此必須加入鑒頻器,將頻率的變化轉換為電壓振幅的變化,經過放大就可以用儀器指示或記錄儀記錄下來。
調頻電容傳感器測量電路具有較高的靈敏度,可以測量高至 0.01 μm 級位移變化量。信號的輸出頻率易于用數字儀器測量,并與計算機通信,抗干擾能力強,可以發送、接收以達到遙測遙控的目的。
因此,在實際應用中,常采用差動式結構,既使靈敏度提高 1 倍,又使非線性誤差大大降低,抗干擾能力增強。
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