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價(jià)格：電議
所在地：北京
型號(hào)：MIRA(LC-SEM)
更新時(shí)間：2022-09-18
瀏覽次數(shù)：1322
公司地址：北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)榮華南路16號(hào)中冀斯巴魯大廈1504
程先生(先生)
使用通常掃描電子顯微鏡時(shí)，在材料科學(xué)中面臨*大挑戰(zhàn)之一是被測(cè)樣品的大小限制。通常情況下，只能對(duì)直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究。這限制了這一重要測(cè)試技術(shù)的應(yīng)用。德國(guó)試樣室掃描電子顯微鏡 MIRA(LC-SEM)克服了這一點(diǎn)，其真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能*大可容納直徑與高度分別達(dá)1500mm，重300kg的樣品。從一粒沙子到一個(gè)柴油發(fā)動(dòng)機(jī)大小的樣品，不必切小，僅用一臺(tái)儀器就可以做的檢查。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察，實(shí)現(xiàn)零部件疲勞、磨損等非破壞性試驗(yàn)研究。
德國(guó)試樣室掃描電子顯微鏡 MIRA(LC-SEM)。作為上*大的一種掃描電鏡，自從推出后，已得到廣泛應(yīng)用。可以裝備多種不同的探測(cè)設(shè)備來(lái)滿足不同的需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評(píng)價(jià)原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對(duì)任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。
L-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
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德國(guó)試樣室掃描電子顯微鏡 MIRA (LC-SEM)試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號(hào)，可觀察*大試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)真空泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實(shí)現(xiàn) 10 -6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度。腔室設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。 |
獨(dú)特的定位系統(tǒng)
當(dāng)一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象時(shí)，會(huì)在手中扭轉(zhuǎn)對(duì)象，人眼-可視化系統(tǒng)是固定的。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí)，人會(huì)在物體周?chē)笥乙苿?dòng)，以便完全觀察它。**種情況是類(lèi)似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。
LC-SEM 配備了磚利定位系統(tǒng)，配備有一個(gè)5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，電子搶、相機(jī)和各種探測(cè)器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上，*初是利用遠(yuǎn)程控制來(lái)調(diào)整軸的角度和高度，使柱體的**位置相對(duì)迅速接近樣品的重點(diǎn)區(qū)域，再通過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)電子槍和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過(guò)程中，還可以進(jìn)行修改以便優(yōu)化信號(hào)接收。并且還可以移動(dòng)試樣，這樣大地減少了試樣裝載次數(shù)。
四個(gè)電腦顯示器通過(guò)探測(cè)器跟蹤柱和樣品的運(yùn)動(dòng)以及觀察試樣表面特性和分析化學(xué)信息，軟件、電氣和機(jī)械接口通過(guò)一個(gè)單一的終端控制。
成像和分析系統(tǒng)
通過(guò)裝備上等鎢絲電子槍，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達(dá)30萬(wàn)倍的圖像放大能力，加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道倍增探測(cè)器，整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動(dòng)影響系統(tǒng)，同時(shí)電子槍和探測(cè)器有一個(gè)創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。LC-SEM 和它的所有部件都采用100％的計(jì)算機(jī)控制，其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計(jì)。
通過(guò)分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過(guò)能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM 擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力。LC-SEM 也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學(xué)家做傳導(dǎo)和緣樣本的臨界面特性研究，包括金屬、陶瓷和金屬間化合物。
更多：LC-SEM產(chǎn)品及應(yīng)用圖片
原 位 觀 測(cè)
除了研究大樣本，德國(guó)試樣室掃描電子顯微鏡LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)控制中。LC–SEM 也可以通過(guò) “中斷監(jiān)控” 實(shí)現(xiàn)較大的工程部件的無(wú)損檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。例如，測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件的摩擦特性，可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究。這些部件在正常工作一段時(shí)期后，可在 LC-SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)全新的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更直接、更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解。
在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗(yàn)
在 這種聯(lián)合測(cè)試中，不僅能確定材料過(guò)載臨界點(diǎn)，而且裂紋的生成與擴(kuò)展也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個(gè)完整的測(cè)試設(shè)備，能提供完整的測(cè)試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時(shí)能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對(duì)初期裂紋形成與擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制，允許感興趣的點(diǎn)始終留在視野當(dāng)中。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠大地改善疲勞、開(kāi)裂現(xiàn)象的原位研究。
應(yīng)用行業(yè): 材料科學(xué)、航空、航天、軍事與國(guó)防、汽車(chē)、文化考古、半導(dǎo)體電子元件、醫(yī)藥生物材料、法醫(yī)學(xué)
應(yīng)用領(lǐng)域：無(wú)損檢測(cè)、原位分析、故障分析、研究開(kāi)發(fā)
德國(guó)試樣室掃描電子顯微鏡 MIRA(LC-SEM) 技術(shù)規(guī)格參數(shù)
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電子光學(xué) |
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分辨率 |
優(yōu)于10納米 |
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放大倍數(shù) |
10x – 300,000x |
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加速電壓 |
0.2 – 30keV |
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探測(cè)器 |
二次反射通道倍增電子探測(cè)器 四象限背散射電子探測(cè)器 |
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分析能力 |
能量色散X射線光譜儀（EDS） |
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電子背散射衍射（EBSD） |
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附加功能 |
聚焦離子束（FIB） |
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傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR） |
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內(nèi)部攝像系統(tǒng) |
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圖像處理 |
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軟件 |
MIRA控制系統(tǒng) |
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硬件 |
個(gè)人電腦，顯示器和打印機(jī) |
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真空系統(tǒng) |
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低真空泵 |
旋片泵，65立方米/ h |
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旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵，400立方米/小時(shí) |
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高真空泵 |
渦輪泵2400升/秒 |
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限真空 |
直至45分鐘后10-6毫巴 |
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真空室 |
3 m3; 9 m3; 12 m3 |
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標(biāo)本 |
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*大尺寸 |
高達(dá)直徑1500毫米，高度1500毫米 |
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*大質(zhì)量 |
300 kg, |
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定位系統(tǒng) |
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軸 |
5 +1微步控制軸系統(tǒng) |
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重復(fù)精度 |
±50 μm |
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定位范圍 |
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X-軸 |
600mm, 1000mm, 1500mm |
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Z-軸 |
600mm, 1000mm, 1500mm |
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A-軸 |
90° |
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B-軸 |
135° |
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C-軸 |
360° |
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D-軸 |
350° |
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