產品簡介
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
公司簡介
深圳市理勤實業有限公司成立于深圳市光明新區，我司是一家專注于真空設備的新能源，新材料，新技術，新設備的高新企業。公司擁有一批經驗豐富的專業技術人員及售后服務團隊，為客戶提供最專業的技術指導和優質的售后服務，滿足客戶對產品的一切需求。專為國內外企業的真空系統設備提供解決方案。專業服務于歐美日韓各大品牌進口真空泵的維修保養及真空系統設計與改裝。服務內容有：新品真空泵銷售、二手真空泵銷售、真空泵維修保養服務、真空設備配件與各式耗材銷售、真空系統設計與改裝服務。24小時響應客戶需求，提供最優質的產品和服務。具體服務內容如下：
一、 新品真空泵銷售服務： Edwards愛德華系列，LEYBOLD萊寶系列， HANBELL漢鐘系列， ULVAC愛發科系列， BECKER貝克系列，等歐美日韓品牌真空泵。
二、 真空系統設備維修與保養服務：可提供備品機，在不影響生產的同時完成維修保養服務。 維修涵蓋：油泵，羅茨泵，干泵， 隔膜泵，碳片泵，咼卷泵，螺桿泵，分子泵，真空計等。品牌服務:Edwards愛德華、LEYBOLD萊寶、ALCATEL阿爾卡特、BECKER貝克、BUSCH普熙、ULVAC愛發科、PFEIFFER普發、ORION好利旺、ULVAC優貝克、Rietschle里其樂、IWATA巖田、HANBELL漢鐘、VARIAN瓦里安 、TOKUDA芝浦、HITACHI日立、SHINKO神港精機等。
三、 二手真空泵銷售服務：歐美日韓各大品牌進口真空泵。
四、 真空系統設備配件與各式耗材銷售：
1: 真空泵維修包:軸承，軸套，油封，O型圈，墊片，橡膠聯軸器，旋片，濾芯。2.真空系統管件:波紋管，轉接頭，法蘭，氣閥等各種NW,ISO,KF轉接頭，來圖加工非標配件。3. 真空泵油品:FOMBLIN氟素油，Edwards愛德華，MORESC日本松村，TVO-68真空油。4.真空計:PFEIFFER普發，Edwards愛德華，LEYBOLD真空計。
五、 真空系統設計與改裝服務。
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產品說明
EDWARDS 愛德華 EH500 EH系列真空泵EH500
概述：
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。
應用
半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光
功能和
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到zui低。
軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是技術設備的制造商所需要的。
容積（工作容積）
50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1
60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1
E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1
E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1
泵的壓差 ?
50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr
60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr
入口連接 ISO100
出口連接 ISO63
轉速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GV80，E2M80
電源供給
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
馬達功率
碳氫化合物 2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3hp
環境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F
zui大操作濕度 90% RH
推薦用油
標準型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
聯結器箱 1.5 升
軸桿封口儲油器 0.125 升
重量* 106 kg/233 lb
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