勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)”啟動(dòng)，運(yùn)行過程中，上蓋不能打

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司（原名：蘇州汶顥芯片科技有限公司）是一家留學(xué)人員回國(guó)創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)，檢測(cè)手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心，配置了三條微流控芯片生產(chǎn)線，包括數(shù)控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng)，光刻-掩模無機(jī)芯片加工系統(tǒng)，可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，擁有81項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，其中：已申請(qǐng)發(fā)明專利65件、實(shí)用新型專利7件，注冊(cè)商標(biāo)2件，登記軟件著作權(quán)7件。

1.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司開發(fā)完成，具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)”啟動(dòng)，運(yùn)行過程中，上蓋不能打開。可以起到保護(hù)作用。

2.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

2 轉(zhuǎn)速：300-4500RPM

2 時(shí)間控制：1--32767s

2 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%

2 膠的均勻性：±3%

2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

2 適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠

2 電源輸入：AC220V±10V,50HZ

2 功率：60W

2 重量：13kg

2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

2 工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度＜80%

3.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解

①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)

4.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x操作說明

（1）選擇合適的專用吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時(shí)一定要插入到底。

（2）開啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面。可分別設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間，點(diǎn)擊“確定”。

（3）進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點(diǎn)擊“吸盤”后點(diǎn)“啟動(dòng)”，儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。

（4）滴膠，動(dòng)作要快。在一階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開關(guān)啟動(dòng)，必須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開。

（5）電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。

（6）繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。

（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。

5.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x維護(hù)清洗

屬下列情況之一時(shí)，需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個(gè)月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

6.臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x常見故障排除

下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)撥打本公司服務(wù)熱線：，本公司將竭誠(chéng)為廣大用戶服務(wù)。

故障現(xiàn)象	原因	排除
電機(jī)不轉(zhuǎn)	1.電源線沒插好	插好電源線
	2.保險(xiǎn)管熔斷	換用同規(guī)格新的保險(xiǎn)管
硅片沒吸住	1.吸氣管未插	插好吸氣管
	2.真空泵沒開	打開真空泵

臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x安全注意事項(xiàng)

拆開包裝后，請(qǐng)按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請(qǐng)聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說明全部?jī)?nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌（臺(tái)）面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺(tái)）面平穩(wěn)接觸，否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng)，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。

(2) 儀器工作時(shí)，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險(xiǎn)物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會(huì)黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng)，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時(shí)必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。

臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x裝箱清單：

 

名稱	單位	數(shù)量
勻膠機(jī)機(jī)體	臺(tái)	1
電源線	份	1
專用吸附盤4寸	個(gè)	標(biāo)配
專用吸附盤1寸、2寸、3寸、5寸	個(gè)	選配
無油真空泵	個(gè)	選配
使用手冊(cè)	份	1
質(zhì)檢報(bào)告	份	1
合格證	份	1
保修卡	份	1

無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原 味的回收氣體。

 無油真空泵技術(shù)參數(shù)：

 1）型號(hào)：AP-550V 

2）抽速：1.5 升/秒 

3）功率：320W 

4）噪音：58db 

5）電壓、頻率：~220V/50HZ 

6）zui低真空度：-700mmHg 

7）重量：5.8kg 

8）外形尺寸：240×130×200mm

注：清點(diǎn)包裝箱內(nèi)的附件和印刷資料，箱內(nèi)的附件和資料請(qǐng)按照裝箱清單對(duì)照檢查。

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