晶圓缺陷檢測系統，半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查 。

歐屹科技，是以激光、光電儀器、電子封裝設備為核心業務的專業代理經銷商和服務商，歐屹科技以多年的行業經驗，
為客戶引進國內外先進的激光器、光電器件、光電儀器、光電系統、電子封裝設備等高精尖儀器設備
其中高功率半導體激光器，微光學透鏡，劃片機，
應力雙折射測試儀尤其受到客戶的贊許。
另外，歐屹科技以專業的技術支持和售后服務；豐富國際貿易經驗為廣大用戶提供廣泛的支持，
我們正盡最大努力把歐屹科技建設成為值得您信賴的公司

列真公司在半導體光罩檢測設備上積累了獨自技術， 主產品 LODAS ?系列具有日本專利權的激光檢測技術，可同時探測收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性檢查第三代半導體 SIC 等材料表面，背面和內部的缺陷，可探測最小缺陷為100 納米，主要用于半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查 。將此項技術運用于第三代半導體材料的缺陷檢查，將提升量產成品率將具有重要意義。

應用: SiC、GaN 

        半導體光罩（石英玻璃與涂層）、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        藍寶石襯底、

        EUV光罩、

        光罩防塵膜

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